SEMI认证需要什么流程|半导体SEMI

上海欧略检测技术有限公司

SEMI S2是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准，符合SEMI S2不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。SEMI S2认证涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件，涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。SEMI认证流程大体为递交技术资料和认证申请、确认标准及报价、准备资料，样品及测试费用、收到样品后准备测试计划、测试，如不通过则进行产品修改、、审核并出具。
为了快速浏览，SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题：
危险警示标签（与SEMI S1有关）
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
工艺液体加热系统（与SEMI S3有关）
人机工程学和人为因素（与SEMI S8有关）
危险能量隔离
雷射

SEMI常见安全标准：
SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，其中S系列规定了环境健康安全（EHS）的要求。

SEMIS2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMIS2不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。目前已成为真正的美国和**半导体制造设备的安全准则。
SEMIS2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来，SEMIS2涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。

除了SEMI S2准则外，还有其他SEMI安全准则，例如用于火灾风险的SEMI S14，用于加热浴的SEMI S3和用于半导体人体工程学的SEMI S8，仅举几例。
在许多情况下，客户可能在合同上要求遵守SEMI S2准则。此外，一些地方当局还使用SEMI S2指南的某些部分，以确保设备符合电气和消防安全要求。
SEMI S2 适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2 适用于离子注入机、光刻设备和湿工作台。它适用于蚀刻机、掩模对准器、CVD、锯、旋涂机和晶圆厂中的任何其他设备。蚀刻机、注入机、清洁轨道、化学分配系统、散装气体分配、气柜、气源柜、计量系统、测试系统、CMP 系统、熔炉、子系统和工业激光器。